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Hazing Prevention Unit

OVERVIEW

Protection area
? Exposure Chamber OA inlet
? Exposure Lamp Box
Cleanliness
? Class 10~1000/ISO Class 4~7
AMC pollution Control
? NH3
? Acid
? TOC
ModelHPUHPU+
Air Volume50/100/150 m3/min50/100/150 m3/min
AMC removingChemical FilterChemical Filter
Air ConditionBy Clean Room23±0.5℃
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